СТАТЬИ

"Прибор ЭМГ-20-9 – времяпролетный масс-спектрометр для обнаружения следовых примесей в особо чистых газах"

15 января 2006

Зорин А.А., Козловский А. В., Марковский С.Н., Можаев А.Н., Пилюгин И.И.

 

 

     Потребности современных технологий требуют точного и оперативного измерения содержания компонент технологических газов и примесей на уровне до 0.1 ppm. Например, для создания газонаполненных панелей требуется получать особо чистый Ne в концентрации 99.9999%. Другой задачей этой же технологии...

 

Тезисы докладов семинара "Вакуумная техника и технология - 2006" опубликованы в журнале "Вакуумная техника и технология", том 16, N 1, 2006, стр. 35-36.


194223, Санкт-Петербург,
Проспект Тореза, д. 68 Литер В

тел. +7 (812) 591-67-10,

факс +7 (812) 591-67-33.

ИНН 7806056330 ОГРН 1027804198597

© 2004-2017 Санкт-Петербург. Все права принадлежат АО "МЕТТЕК".

 
Дизайн и разработка DMKAZstudio